微观装置的制造及其处理技术
  • 一种近红外光电器件及其加工方法与流程
    本发明涉及加工制造,特别涉及一种近红外光电器件及其加工方法。随着各个领域对芯片及电子器件的集成度要求越来越高,电子器件的特征尺寸不断减小。然而以硅等半导体材料为基本材料的传统电子器件将面临巨大挑战:一方面,根据预测,传统电子器件的特征尺寸在未来将停止减小;另一方面,随着特征尺寸进入...
  • 一种MEMS器件及其制作方法、显示基板与流程
    本发明涉及MEMS器件,尤其涉及一种MEMS器件及其制作方法、显示基板。目前MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)器件主要以硅晶圆为衬底,由于硅晶圆衬底尺寸较小(主要为6寸和8寸),因而难以制作大型阵列式MEMS器件。同时,由于硅晶圆...
  • 一种真空封装工艺的制作方法
    本发明涉及微纳米加工技术,更具体地涉及一种真空封装工艺。空气阻力是与结构尺度成比例关系的力。在宏观物体中,只有当速度很高时空气阻力才会产生显著影响。但是随着结构尺度减小,空气阻力的相对影响显著增加。在常见的微米尺度的微机电系统(MEMS)结构中,空气阻力是多种MEMS器件的主要阻尼机制。同...
  • 基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法与流程
    本发明涉及快速成形技术,尤其涉及一种基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法。常见的聚合物表面微结构制造方法包括3D打印、光刻、纳米压印、超声驻波场辅助等等。其中基于超声驻波场辅助的阵列式微结构成形方法,具有成形速度快、成形过程不需要模具、可实现多材料制造等优点,可以被应用于细胞芯...
  • 自驱动的微型冲击锤的制作方法
    本发明涉及一种微机械结构,可广泛应用于跳跃机器人、对药物和疫苗的无针输送、研究在微观尺度上的断裂以及设计一种自毁传感器。微机电系统(MicroElectroMechanicalSystems,简称MEMS),是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术。MEMS器件可用于集成电路...
  • 气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置的制作方法
    本实用新型涉及微电子机械系统,特别是一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置。MEMS技术被誉为21世纪带有革命性的高新技术,其发展始于20世纪60年代,MEMS是英文MicroElectroMechanicalSystem的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(M...
  • 一种激光脉冲辅助制备复合金属纳米颗粒阵列的方法与流程
    本发明涉及贵金属纳米颗粒阵列的制备方法,尤其涉及可制备出大小、形状和材料种类可调节的贵金属纳米阵列的制备方法。贵金属纳米颗粒在可见光范围内伴随有强烈的吸收峰,这是由于颗粒内大量的传导电子的振动频率和入射光波的频率相等,产生表面等离子体共振效应,从而产生强烈的吸收峰。表面等离子体共振光谱峰位...
  • 利用应变累积驱动实现复杂运动的驱动器、制备方法及应用与流程
    本发明属于驱动器,具体涉及通过将双层驱动器中的惰性层图案化使得驱动器获得取向性,从而利用湿度响应对其进行定向驱动。驱动器是智能机器人、微机械等智能器件的核心部件。在各种驱动器结构中,双层驱动器因其高灵敏度、高形变量和易加工等显著优势而具有重要地位。一般的,双层驱动器由活性层和惰性层...
  • 形成用于MEMS器件的钝化涂层的制作方法
    微机电系统(MEMS)器件(诸如致动器、开关、电动机、传感器、可变电容器、空间光调制器(SLM)和类似的微电子器件)可具有可移动元件。例如,典型的SLM器件包含处于单独寻址的光调制器元件形式的可移动元件阵列,响应于输入数据其相应的“开”或“关”位置被设置,以通过或阻挡从照明源指向阵列的光的...
  • 一种柔性传感器阵列、触诊探头及其制备方法与流程
    本发明属于医疗仪器领域,尤其涉及一种基于柔性传感器阵列构建的触诊探头及其实现方法。【】中国乳癌具有发病率增速高、死亡率高、治疗难度高、发病年龄早的趋势,但相比其它肿瘤,乳癌的早诊早治效果更好,如原位癌近100%可治愈。乳癌的主要检查方法有临床触诊、钼靶X线、超声、核磁、乳管镜等,这...
  • 具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过程的制作方法
    本公开涉及具有悬置隔膜的压电MEMS设备,并且涉及其制造过程。如所知,致动器是将一种类型的物理量转换为不同类型的另一物理量的设备,并且由转换导出的量通常涉及某种形式的移动或机械作用。最近,已经提出具有微米和纳米尺寸的致动器,也分别被称为微致动器和纳致动器,其可以利用半导体技术获得,因此成本...
  • 一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
    本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规模...
  • 与αvβ3整联蛋白甲状腺拮抗剂缀合的不可裂解聚合物的制作方法
    本申请要求2016年6月7日提交的题为“NOVELCOMPOSITIONSANDMOTHODSOFUSOFNON-CLEAVABLEPOLYMERCONJUGATEDWITHNOVELALPHA-V-BETA-3THYROIDANTAGONISTS的美国申请号62/34...
  • 一种纳米连接装置和纳米线与电极连接方法与流程
    本发明涉及加工制造,特别涉及一种纳米连接装置和纳米线与电极连接方法。纳米线受尺度效应的影响,具有优于宏观材料的机械性能、光学性能、电学性能,是实现新型纳米器件的基本构件之一。纳米线的操作以及将纳米线于电极连接是实现纳米器件制造的关键技术。目前,纳米操作及连接技术难以针对性地选择纳米...
  • 本发明涉及纳米材料,更具体地说,尤其涉及一种银涂层的制备方法。纳米超微粒子,其本身具有量子尺寸效应、小尺寸效应、表面效应和宏观量子隧道效应,与普通大颗粒材料相比,呈现出许多传统材料所不具备的物理、化学性质,近年来已成为物理、化学、材料学科研究的前沿领域。纳米银粒子在表面增强拉曼光谱...
  • 一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
    本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规模...
  • 五金件、微机电传感器封装结构及制造方法与流程
    本发明涉及微机电传感器,更具体地,涉及一种五金件及使用该五金件的微机电传感器封装结构。微机电传感器组件的封装具有不同功能。封装保护组件免受机械的和化学的环境影响。此外,封装或壳体的类型确定了在使用地点如何安装和接通所述组件。在此特别重要的是用于SMT(surfacemountin...
  • 一种MEMS器件及制备方法、电子装置与流程
    本发明涉及半导体,具体而言涉及一种MEMS器件及制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展,在传感器(motionsensor)类产品的市场上,智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术,并且随着技术的更新,这类传动传感器产品的发展方向是规模...
  • 一种可拉伸电子干扰变形免疫基材的制作方法
    本发明涉及柔性电子材料,尤其是涉及带有功能单元如敏感单元的一种可拉伸电子干扰变形免疫基材。柔性电子技术是将有机/无机材料电子器件制作在柔性/可延展基板上的新兴电子技术,可用于人机交互、医疗康复和生物医学等领域。相对于传统电子,柔性电子具有更大的灵活性,能够在一定程度上适应不同的工作环境,且...
  • 纳米线材的量产制造方法及其制造装置与流程
    本发明是关于一种线材之制造方法及其制造装置,特别是关于一种纳米线材的量产制造方法及其制造装置。由于日趋严重的环境污染及工业上之需求,使得传感器的发展倍受重视。在空气污染防治日益复杂及工业上迫切需要的今日,高效能的气体传感器愈来愈受重视。近年来纳米结构材料之气体传感器的出现,其灵敏度能随着构...
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